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1. 采用中文窗口操作系統(tǒng)，操作性簡便。
2. 厚度測量極限:分辨率0.001um。
3. 可測試項目:單層膜厚、雙層膜厚、三層膜厚、化學鎳膜厚、鉛合金膜厚及組成、壓鑄鋅上鍍銅、二層同時測定、元素光譜分析。
4. 油浸式微小焦點X線管，50KV管電壓，由上而下垂直照射方式。
5. 采用多頻分析器，可快速處理能譜分析，可執(zhí)行測定物之能譜分析表示，操作簡單。
6. 濾波器:采用Co、Ni金屬及數(shù)字式濾波器，可單一或同時使用。
7. 準直器：采用5種孔徑一體式之Collimator(可設(shè)定任意切換方式)。
8. 彩色樣品觀察系統(tǒng)，附有＋字刻度線，清楚顯示測定位置。
9. 客戶、各部品番號、批號，可登錄在頻道內(nèi)，共有300個測量頻道數(shù)。
10.自動測定測量臺，可使利用鼠標或搖桿來輸入及調(diào)整測定位置，可登錄儲存100組自動測定頻道，可作坐標補正及頻道連結(jié)。
11.采用中文窗口作業(yè)軟件，設(shè)計及打印測量報告，插入測量位置的彩色圖片、非常容易。

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